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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空蒸镀用掩模和用该掩模制造的有机电致发光显示面板-CN03122431.8有效
发明人：安彦浩志 -专利权人：东北先锋电子股份有限公司
申请日： 2003-04-25 - 公布日： 2003-11-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供能调整蒸镀用掩模的张力、同时能容易地从掩模框卸下蒸镀用掩模的真空蒸镀用掩模。本发明的真空蒸镀用掩模1被保持在掩模框11上，具备：蒸镀用掩模本体10；引导构件12，粘接在蒸镀用掩模本体10的至少1边上；以及张力附加装置14，在引导构件12被保持在掩模框11上时，经该引导构件12对蒸镀用掩模本体
真空蒸镀用掩模制造有机电致发光显示面板

[发明专利]真空蒸镀用掩模及用其制造的有机电致发光显示器面板-CN200410005882.7有效
发明人：安彦浩志;高桥晃 -专利权人：东北先锋电子股份有限公司
申请日： 2004-02-20 - 公布日： 2004-11-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种真空蒸镀用掩模及有机EL显示器面板，该真空蒸镀用掩模能够调整蒸镀用掩模的张力，并且能够容易地从掩模框架上卸下蒸镀用掩模。该掩模是保持在掩模框架(11)上的真空蒸镀用掩模(1)，并包括：蒸镀用掩模主体(10)，安装在蒸镀用掩模主体(10)的至少1个边上的导向部件(12)，在保持在掩模框架(11)上时、通过导向部件(12)向蒸镀用掩模主体(10)施加规定的张力的张力施加机构(14)，和将上述导向部件与上述掩模框架相对于掩模表面沿垂直方向进行固定的固定机构(21)。
真空蒸镀用掩模制造有机电致发光显示器面板

[发明专利]蒸镀掩模用盒体-CN202080037209.9在审
发明人：真野隆夫;石坂大 -专利权人：凸版印刷株式会社
申请日： 2020-10-02 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀掩模用盒体，构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域。蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时对蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时与支撑部对置的对置面以及从对置面凹陷的凹部，从与支撑面对置的视点观察，以蒸镀掩模的图案区域位于上述凹部内、且周边区域延伸到凹部之外的方式对蒸镀掩模进行覆盖；以及标识，用于使盖部与支撑部相区别。
蒸镀掩模用盒体

[实用新型]蒸镀掩模用盒体-CN202022192018.X有效
发明人：真野隆夫;石坂大 -专利权人：凸版印刷株式会社
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B65D75/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀掩模用盒体，构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域，该蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时对蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时与支撑部对置的对置面以及从对置面凹陷的凹部，从与支撑面对置的视点观察，以蒸镀掩模的图案区域位于上述凹部内、且周边区域延伸到凹部之外的方式对蒸镀掩模进行覆盖；以及标识
蒸镀掩模用盒体

[发明专利]一种蒸镀用掩模板-CN201310464826.9在审
发明人：魏志凌;高小平;潘世珎;魏志浩;汪行 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀用掩模板，包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，在蒸镀孔中心轴线所在的截面上，蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状，蒸镀孔的孔壁与掩模板本体的板面呈30～利用本发明提供的蒸镀用掩模板在蒸镀过程中可以地减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，并且蒸镀过程中不存在蒸镀的死角，蒸镀层的厚度均匀，从而提高蒸镀质量。
一种蒸镀用掩模板

[发明专利]对位方法及对位装置、蒸镀设备-CN201810436372.7有效
发明人：杨盛际;董学;陈小川;王辉;卢鹏程 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种对位方法及对位装置、蒸镀设备，属于显示技术领域。对位装置包括：位于蒸镀腔室外的第一对位模块，用于确定待蒸镀基底和蒸镀用掩模板的相对位置信息；位于蒸镀腔室内的第二对位模块，用于根据相对位置信息，调整待蒸镀基底和/或蒸镀用掩模板的位置，使得待蒸镀基底的第一对位标记在蒸镀用掩模板上的正投影与蒸镀用掩模板的镂空区域至少部分重合；透过镂空区域获取第一对位标记的位置信息，并根据位置信息调整待蒸镀基底和/或蒸镀用掩模板的位置，完成待蒸镀基底和蒸镀用掩模板的对位。本发明能够在对硅基OLED显示基板进行蒸镀时，对硅基OLED显示基板进行精确对位。
对位方法装置设备

[实用新型]一种蒸镀用掩模板及掩膜组件-CN201320617777.3有效
发明人：魏志凌;高小平;潘世珎;魏志浩;汪行 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀用掩模板，包括掩模板本体及形成在掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，在蒸镀孔中心轴线所在的截面上，蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状，蒸镀孔的孔壁与掩模板本体的板面呈30利用本实用新型提供的蒸镀用掩模板在蒸镀过程中可以地减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，并且蒸镀过程中不存在蒸镀的死角，蒸镀层的厚度均匀，从而提高蒸镀质量。
一种蒸镀用掩模板组件

[发明专利]蒸镀用掩模板及其制造方法-CN201210569664.0无效
发明人：唐军 -专利权人：唐军;钱超
申请日： 2012-12-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀用掩模板及其制造方法，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置本发明可使得在蒸镀用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸镀孔不会发生变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度
蒸镀用掩模板及其制造方法

[实用新型]蒸镀用掩模板及掩模板组件-CN201721219936.9有效
发明人：林盈妃;李明亮 -专利权人：深圳市柔宇科技有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀用掩模板及掩模板组件，通过在所述掩模板的所述蒸镀孔的孔壁上设置防附着层，从而防止所述蒸镀材料沉积于所述蒸镀孔的孔壁上，进而避免由于所述蒸镀材料在所述蒸镀孔孔壁上沉积，而产生蒸镀孔面积减小从而保证通过所述蒸镀用掩模板及掩模板组件得到的OLED显示面板的开口率，使所述OLED显示面板具有较好显示效果。
蒸镀掩模板掩模板组件孔壁蒸镀材料沉积本实用新型发光子像素防附着层面积减小显示效果开口率保证

[发明专利]蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法-CN202180025079.1在审
发明人：若林雅;野本将史 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。
蒸镀掩模用框架蒸镀掩模以及方法

[发明专利]蒸镀用掩模板-CN201210010697.1在审
发明人：魏志凌;高小平 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀用掩模板，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本发明通过采用一种蒸镀用掩模板，蒸镀用掩模板，形状为四边形的金属板，所述掩模板具有ITO面层和蒸镀面层两层结构，所述掩模板上具有贯通ITO面层和蒸镀面层的开口，ITO面层的开口尺寸小于蒸镀面层的开口尺寸，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，开口形状为梯形的技术方案，较好地解决了该问题，可用于有机发光二级管的工业生产中
蒸镀用掩模板

[发明专利]蒸镀用掩模板的制备方法-CN201210010684.4在审
发明人：魏志凌;高小平;潘世珎;郑庆靓 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀用掩模板的制备方法，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本发明通过采用一种蒸镀用掩模板的制备方法，所述蒸镀用掩模板形状为四边形的金属板，所述掩模板具有ITO面层和蒸镀面层两层结构，所述掩模板上具有贯通ITO面层和蒸镀面层的开口，ITO面层的开口尺寸小于蒸镀面层的开口尺寸，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，ITO面层开口形状为梯形、蒸镀面层开口形状为矩形的技术方案
蒸镀用掩模板制备方法

[实用新型]蒸镀用掩模板-CN201220723266.5有效
发明人：唐军 -专利权人：唐军;钱超
申请日： 2012-12-25 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉直固定于板框上的掩模板，掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。本实用新型使得在蒸镀用掩模板制造过程中、制造完成后及生产过程中，蒸镀孔不会受力变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度和稳定性，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸
蒸镀用掩模板

[发明专利]一种蒸镀用掩模板及其制作工艺-CN201210010754.6有效
发明人：魏志凌;高小平;赵录军;孙倩;郑庆靓 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出一种蒸镀用掩模板及其制作工艺，所述制作工艺包括如下步骤：设置基板；在基板的一面依次电铸至少两层掩模板层，各掩模板层设有开口，掩模板层开口的尺寸随着掩模板层与基板的距离扩大而变大。通过本发明提出的蒸镀用掩模板及其制作工艺，通过电铸多层掩模板层，提高了OLED蒸镀用掩模板的位置精度；提高了OLED蒸镀用掩模板开口尺寸的精度；能够任意控制上下开口的角度，以满足蒸镀要求。
一种蒸镀用掩模板及其制作工艺

[实用新型]蒸镀用掩模板-CN201220015903.3有效
发明人：魏志凌;高小平 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀用掩模板，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本实用新型通过采用一种蒸镀用掩模板，蒸镀用掩模板，形状为四边形的金属板，所述掩模板具有ITO面层和蒸镀面层两层结构，所述掩模板上具有贯通ITO面层和蒸镀面层的开口，ITO面层的开口尺寸小于蒸镀面层的开口尺寸，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，开口形状为梯形的技术方案，较好地解决了该问题，可用于有机发光二级管的工业生产中
蒸镀用掩模板

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